산학연구과제 우수발명 포상

SK하이닉스는 2021년도 ‘제9회 산학연구과제 우수발명 포상’을 실시했다.

최우수상은 이호준 부산대 교수가 받았다. 우수상은 노삼혁 울산과학기술원 교수, 장려상은 박찬혁 이화여대 교수, 노원우 연세대 교수, 전정훈 성균관대 교수에게 수여됐다.

이호준 교수는 ‘이온 소스 헤드 및 이를 포함하는 이온 주입 장치’ 특허로 최우수상을 수상했다. 해당 특허는 고진공, 저유량에서도 고주파 플라즈마를 생성할 수 있도록 하는 기술이다. 플라즈마 효율 향상과 이온 소스 사용주기를 2배 이상 개선하고 비용 절감을 가능토록 해 높은 평가를 받았다.

SK하이닉스는 2013년부터 해마다 산학협력 대학이 연구과제 수행 과정에서 출원한 특허 중 우수 사례를 선별해 포상식을 열고 있다. 올해는 코로나19 상황인 점을 감안해 SK하이닉스 측이 수상자 학교를 직접 찾아가 상패를 전달했다.