고품질의 다양한 광소자 제작이 가능한 무촉매 나노 구조물 성장법
출원번호
1020150132182
등록번호
101759255
권리구분
특허권
권리기간
2015-09-18 ~ 2035-09-18
문의처
070-8065-4613
기관의 인기특허
기술 정보
발명명칭
무촉매 방식 가변경사각을 갖는 나노 구조물 성장 방법
기술분야
나노 구조체 성장법
거래방식
#특허판매#노하우#라이선스#연구협력
매도가격
가격 협의
문의처
070-8065-4613
기술 소개
기술 요약
- 본 발명은 무촉매 방식으로 경사각을 갖는 나노 구조물 성장 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 금속촉매 를 사용하지 않고 패터닝 및 식각 공정을 통하여 사파이어 기판 또는 화합물 박막 상부에 위치 선택적으로 수평 또는 경사 구조로 나노 구조물을 성장시키는 방법에 관한 것이다.
매도/수 절차
절차과정