플렉서블-제로갭 기판을 이용해 미세 선폭을 새기는 장치
출원번호
1020210016376
등록번호
권리구분
특허권
권리기간
2021-02-04 ~ 2041-02-04
문의처
070-8065-4613
기관의 인기특허
기술 정보
발명명칭
크기 제어가 가능한 갭을 갖는 플렉서블-제로갭 기판, 이의 제조 방법, 및 이의 용도
기술분야
플렉서블-제로갭 기판
거래방식
#특허판매#노하우#라이선스#연구협력
매도가격
가격 협의
문의처
070-8065-4613
기술 소개
기술 요약
- 본 발명은 유연 기판(10), 및 상기 유연 기판(10) 상의 제1 금속층(20)과 제2 금속층(30)을 포함하고, 여기서, 상기 제1 금속층(20)과 상기 제2 금속층(30)은 서로 측면이 인접하고, 이들 인접하는 측면 사이의 갭(gap)(G)은 상기 유연 기판(10)에 물리적 힘이 가해졌을 때 상기 물리적 힘에 따라 그의 크기가 변하는 것인 플렉서블-제로갭 기판(100)을 제공한다. 본 발명의 기판은, 인접 두 금속층의 접촉부 사이에서 일어나는 계면 벌어짐에 의해 생기는 트렌치를 활용하는 것이다. 계면 벌어짐을 이용하기 때문에 트렌치의 폭 (즉, 갭)을 0 에서 수 μm 까지 연속 조절이 가능하고, 조절 단위가 원자 단위 정도인 옹스트롬 또는 그 이하의 크기로 미세 조절이 가능하다. 한번 형성된 트렌치는 반복적으로 열렸다가 닫힐 수 있어서 반복 사용이 가능하다. 본 발명의 기판은 쉐도우 마스크, 포토 마스크, 마이크로웨이브 또는 테레헤르츠파 스위치 및 안테나, 마이크로웨이브 차폐제, 구조 역학적 기억 소자, 저항 메모리 소자, 양자 저항 기반 소자, 물질 특성 관측 플랫폼, 광화학 분석 플랫폼, 초미세 먼지 및 가스 센서, 바이러스 검출기, 나노바이오센서, 분자전자공학 플랫폼, 나노와이어 제작 플랫폼, 또는 단일원자체인 제작 플랫폼을 제작하는데 활용될 수 있다.
매도/수 절차
절차과정
연구자의 보유기술
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