단순공정 및 초고순도 제조 실리콘카바이드 파우더
출원번호
1020100032965
등록번호
1012698620000
권리구분
특허권
권리기간
2010-04-09 ~ 2030-04-09
문의처
070-8065-4613
기관의 인기특허
기술 정보
발명명칭
초고순도 실리콘카바이드 파우더의 제조방법
기술분야
반도체 소자
거래방식
#특허판매#노하우#라이선스#연구협력
매도가격
가격 협의
문의처
070-8065-4613
기술 소개
기술 요약
- 본 발명은 초고순도 실리콘카바이드 파우더의 제조방법에 관한 것으로, 구체적으로는 불용성 및 불용성의 초고분자 폴리카보실란의 저온 합성방법과 이를 이용하여 단순공정으로 제조되는 초고순도의 실리콘카바이드 파우더를 제조하는 것으로, 본 발명에 따른 촉매 공정을 통해 통상의 합성조건 즉, 470 내지 470℃의 고온고압 반응 또는 400℃의 촉매반응 조건보다 낮은 온도 및 낮은 압력에서 불용성 및 불용성의 초고분자 폴리카보실란을 제조할 수 있으며, 이로부터 얻어진 불용성 및 불용성의 초고분자 폴리카보실란을 단순분쇄하여 곱고 균일한 파우더를 만든 후 산화안정화를 거치지 않고 분위기를 제어하며 직접 열처리 함으로써 산소의 오염이 없는 초고순도의 실리콘카바이드 화인파우더를 제조할 수 있다.
매도/수 절차
절차과정