열전달 효율 및 누설전류 개선 정전척용 흑색 유전체 소재
출원번호
1020100102179
등록번호
1012172530000
권리구분
특허권
권리기간
2010-10-20 ~ 2030-10-20
문의처
070-8065-4613
기관의 인기특허
기술 정보
발명명칭
정전척용 흑색 유전체 소재 및 그 제조방법
기술분야
정전척 기술
거래방식
#특허판매#노하우#라이선스#연구협력
매도가격
가격 협의
문의처
070-8065-4613
기술 소개
기술 요약
- 본 발명은, 산화이트륨(Y2O3) 100중량부와, 명도를 낮추어 복사열에 의한 열전달이 높아 웨이퍼의 온도 균일도를 향상시키고 유전체 색상의 변동을 억제하기 위한 카본(C), SiC, WC, TiC, TaC, VC, CrC, ZrC, NbC, MoC, HfC 및 NiO 중에서 선택된 1종 이상의 물질이 상기 산화이트륨(Y2O3) 100중량부에 대하여 0.05~4 중량부 포함되며, 명도가 20?60 범위이고, 상온에서의 체적저항율이 1×10 15 ?5×10 16Ω?㎝ 범위 이며, 상대밀도가 98.0?99.8% 범위를 이루는 정전척용 흑색 유전체 소재 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 플라즈마 환경에서 사용되는 정전척의 내구성을 향상시키면서도 웨이퍼의 온도 균일도를 향상시킬 수 있고 유전상수가 높고 치밀하며 체적저항값이 1×10 15 Ω?㎝ 이상 이므로 누설전류가 적고 웨이퍼 탈착 성능이 우수한 특성을 제공할 수 있다.
매도/수 절차
절차과정
연구자의 보유기술
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