AI요약

기존 미소크랙 검사 기술은 측정 위치에 따라 민감도가 저하되어 정확한 결함 검출에 한계가 있었습니다. 본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위해 공진점의 모드형상 벡터와 주평면의 직교성 분석을 활용한 혁신적인 미소크랙 검사장치 및 방법을 제시합니다. 미소크랙 존재 시 하나의 공진점이 두 개의 측대파 공진점으로 분리되는 현상에 주목하며, 모드상관계수(MAC)를 통해 두 공진점의 독립성을 확인하고, 모드형상 주평면의 직교성 분석으로 서로 다른 모드임을 판별합니다. 이 기술은 측정 위치에 관계없이 미소크랙을 보다 정확하게 검출하며, 기존 방식 대비 간결한 구성과 저렴한 비용으로 높은 신뢰성을 제공합니다. 이를 통해 다양한 산업 분야에서 정밀한 비파괴 검사가 가능해집니다.