디지털신호
광신호 피드백으로 고종횡비 식각 효율 높이는 적응형 펄스 공정 개발
기술분야
반도체 식각 공정
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판매 유형
직접 판매
거래방식
- 공동연구
- 특허매각
- 라이센스
- 노하우
AI요약
반도체 고종횡비 컨택홀 식각 공정에서 발생하는 식각 중단 현상과 효율 저하는 3D V-NAND 제조의 큰 난제입니다. 본 기술은 식각 부산물의 특정 광신호를 기반으로 듀티 사이클 등 제어 변수를 실시간 조정하는 적응형 펄스 공정 장치 및 방법을 제공합니다. 이를 통해 식각 효율을 극대화하고 식각 중단 현상을 해결하여, 반도체 생산성 향상에 기여합니다. 국가 핵심 산업의 기술적 우위를 선점하는 데 이바지합니다.
기본 정보
| 기술 분야 | 반도체 식각 공정 |
| 판매 유형 | 자체 판매 |
| 판매 상태 | 판매 중 |
기술 상세 정보
| 기술명 | |
| 고종횡비 컨택홀 식각 공정에 적용 가능한 적응형 펄스 공정 장치 및 방법, 이를 구현하기 위한 프로그램이 저장된 기록매체 및 이를 구현하기 위해 매체에 저장된 컴퓨터프로그램 | |
| 기관명 | |
| 한국기술마켓 | |
| 대표 연구자 | 공동연구자 |
| 유신재 | - |
| 출원번호 | 등록번호 |
| 1020210071078 | 1025870310000 |
| 권리구분 | 출원일 |
| 특허 | 2021.06.01 |
| 중요 키워드 | |
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기술완성도 (TRL)
기본원리 파악
기본개념 정립
기능 및 개념 검증
연구실 환경 테스트
유사환경 테스트
파일럿 현장 테스트
상용모델 개발
실제 환경 테스트
사업화 상용운영
기본원리
파악
기본개념
정립
기능 및 개념
검증
연구실 환경
테스트
유사환경
테스트
파일럿 현장
테스트
상용모델
개발
실제 환경
테스트
사업화
상용운영
기술 소개
매도/매수 절차
기술이전 상담신청
연구자 미팅
기술이전 유형결정
계약서 작성 및 검토
계약 및 기술료 입금
문의처
한국기술마켓
담당자한국기술마켓
이메일jee-yk@kotechmarket.com
문의처070-8065-4613
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