탄화수소를 이용한 고성능 고유전막 개발
출원번호
1020200071703
등록번호
1024516380000
권리구분
특허권
권리기간
2020-06-12 ~ 2040-06-12
문의처
042-821-8724
기관의 인기특허
기술 정보
발명명칭
고유전막 및 이를 포함하는 반도체 또는 커패시터 소자
기술분야
신소재
거래방식
#특허판매#노하우#라이선스#연구협력
매도가격
가격 협의
문의처
042-821-8724
기술 소개
요약
- 전자기기를 더욱 소형화하려는 트렌드에 맞추기 위해서는 반도체를 더 작고 오밀조밀하게 배치해야 해 보다 얇고 우수한 고유전막이 필요한 실정입니다. 충남대학교 김의태 교수 연구팀은 탄화수소를 이용해 우수한 성능의 고유전막을 개발하였습니다. 이 고유전막은 메탄과 수소 가스를 이용해 간단하게 만들 수 있으며, 높은 유전상수와 절연강도를 지니면서도 누설전류가 작아 고밀도 소자를 제조할 때 유용하게 활용될 수 있습니다. 이 고유전막을 활용해서 만든 반도체는 주변 반도체의 간섭을 적게 받고 안정적으로 사용할 수 있습니다.
매도/수 절차
절차과정
연구자의 보유기술
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