고불소계 용제에 용해성을 가지는 고불소화 고분자를 포함하는 레지스트 재료 개발
출원번호
1020180068663
등록번호
1021141160000
권리구분
특허권
권리기간
2018-06-15 ~ 2038-06-15
문의처
070-8065-4613
기관의 인기특허
기술 정보
발명명칭
고불소계 용제에 용해성을 가지는 고불소화 고분자를 포함하는 레지스트 재료
기술분야
반도체 제조
거래방식
#특허판매#노하우#라이선스#연구협력
매도가격
가격 협의
문의처
070-8065-4613
기술 소개
요약
- 반도체에 미세한 회로를 새겨넣는 과정에서 필요한 재료인 레지스트에 대한 연구가 진행되고 있습니다. 기존에 사용되던 레지스트 재료인 노빌렉 계열이나 PMMA는 각각 자외선에 노출될 때 화학적 변화가 있거나, 초미세 패턴을 형성하는 데 한계가 있었습니다. 이를 해결하기 위해 개발된 새로운 레지스트 재료는 고불소화 용제에 쉽게 녹는 성질을 가지고 있으며, 전자선을 비추면 잘 녹지 않는 특성을 가지고 있습니다. 이를 통해 반도체 위에 정밀한 미세 패턴을 새겨넣을 수 있어, 더욱 우수한 성질을 지닌 반도체를 제조할 수 있을 것으로 기대됩니다.
매도/수 절차
절차과정
연구자의 보유기술
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