제품의 결함을 빠르고 정확하게 측정하는 광학식 형상 측정기
출원번호
1020200009226
등록번호
1023741230000
권리구분
특허권
권리기간
2020-01-23 ~ 2040-01-23
문의처
070-8065-4613
기관의 인기특허
기술 정보
발명명칭
대상물의 형상을 측정하는 방법 및 장치
기술분야
형상 측정 장치
거래방식
#특허판매#노하우#라이선스#연구협력
매도가격
가격 협의
문의처
070-8065-4613
기술 소개
기술 요약
- 본 개시는 측정 대상물의 형상을 검출하는 장치에 관한 것이다. 측정 대상물의 형상을 검출하는 장치는 서로 다른 파장의 광을 발생시키는 하나 이상의 광원들을 포함하는 광원부; 상기 하나 이상의 광원들로부터 발생된 광들을 미리 설정된 주축에 대하여 45도 편광된 직선 편광으로 변환하는 선형 편광판; 상기 직선 편광으로 변환된 광들을 기준 거울로 입사되는 참조광 및 상기 측정 대상물로 입사되는 측정광으로 각각 분할하고, 상기 기준 거울로부터 반사된 참조광 및 상기 측정 대상물로부터 반사된 측정광을 출력하는 간섭계; 및 상기 간섭계로부터 출력된 참조광 및 측정광을 소정의 편광 패턴에 따라 필터링하고, 상기 필터링된 참조광 및 측정광 사이의 간섭 강도에 기초하여 상기 측정 대상물의 형상을 검출하는 형상 검출부; 를 포함할 수 있다.
매도/수 절차
절차과정
