마이크로폰의 음향 감지 성능을 향상시키는 MEMS 기반 마이크로폰 제조방법
출원번호
1020170170611
등록번호
1020790720000
권리구분
특허권
권리기간
2017-12-12 ~ 2037-12-12
문의처
070-8065-4613
기관의 인기특허
기술 정보
발명명칭
마이크로폰 장치 및 제조방법
기술분야
마이크로폰 장치
거래방식
#특허판매#노하우#라이선스#연구협력
매도가격
가격 협의
문의처
070-8065-4613
기술 소개
기술 요약
- 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로폰 장치 및 제조방법은 광을 반사하는 기판, 및 상기 기판에 광을 제공하고, 상기 기판으로부터 반사된 광을 수집하는 광섬유를 포함하고, 상기 기판은 일면에 미리 정해진 경사각을 가지고, 상기 광섬유로부터 제공된 상기 광이 입사되는 입사면, 및 상기 일면에 미리 정해진 경사각을 가지고, 상기 입사면에 의해 반사된 광을 상기 광섬유로 출사하는 출사면을 포함한다.
매도/수 절차
절차과정