실시간으로 박막의 두께를 측정하는 박막두께 측정장치
출원번호
1020190179546
등록번호
1023287130000
권리구분
특허권
권리기간
2019-12-31 ~ 2039-12-31
문의처
070-8065-4613
기관의 인기특허
기술 정보
발명명칭
박막두께 측정장치
기술분야
박막두께 측정장치
거래방식
#특허판매#노하우#라이선스#연구협력
매도가격
가격 협의
문의처
070-8065-4613
기술 소개
기술 요약
- 본 발명은 박막두께 측정장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는 측정대상체가 세팅되는 시료부와, 상기 측정대상체로 소정의 조사광을 조사하는 광원부와, 상기 측정대상체로부터 반사되는 반사광을 수광하는 수광부와, 상기 반사광의 편광상태를 변환하기 위해 상기 반사광의 경로상에 배치되는 것으로서, 상기 반사광을 서로 다른 다수의 편광상태로 변환하는 편광유닛을 포함하며, 상기 반사광이 편광유닛을 통과하여 파장별 서로 다른 편광방향의 광들을 획득하여 박막두께를 측정할 수 있는 박막두께 측정장치에 관한 것이다.
매도/수 절차
절차과정