플렉서블 패널의 성능이 우수한 박막 트랜지스터 제조방법
출원번호
1020200127410
등록번호
권리구분
특허권
권리기간
2020-09-29 ~ 2040-09-29
문의처
070-8065-4613
기관의 인기특허
기술 정보
발명명칭
플렉서블 산화물 반도체 박막 트랜지스터
기술분야
플렉서블 디스플레이 / 웨어러블 전자장치
거래방식
#특허판매#노하우#라이선스#연구협력
매도가격
가격 협의
문의처
070-8065-4613
기술 소개
기술 요약
- 발명은 기계적으로 유연한 산화물 반도체 박막 트랜지스터 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 유기물 층간 절연막을 이용하는 플렉서블 자기정합형 코플라나 박막 트랜지스터 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
기술의 특징
- 플렉서블 기판; 상기 플렉서블 기판 상에 형성되고 채널 영역과 도전 영역을 포함하는 산화물 반도체 박막; 상기 산화물 반도체 박막의 상기 채널 영역 상에 형성되는 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 상에 형성되는 게이트 전극; 상기 게이트 전극과 상기 산화물 반도체 박막을 덮도록 형성되는 유기 층간 절연막; 및 상기 유기 층간 절연막 상에 형성되고 상기 산화물 반도체 박막의 상기 도전 영역과 전기적으로 연결되어 있는 소스/드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터를 제공한다.
기술의 효과
- 플렉서블 기판에 형성된 자기정합형 코플라나 박막 트랜지스터 소자구조에서 낮은 영률을 가진 유기물 층간 절연막을 이용하여 우수한 전기적 및 기계적 성능의 박막 트랜지스터 소자를 구현할 수 있다.
대표도면
- 플렉서블 자기정합형 코플라나 박막 트랜지스터 소자 단면도
- 게이트 전압/드레인 전류 특성-반복 굽힘 횟수(5 mm 곡률 반경) 관계
기술의 완성도(TRL)
매도/수 절차
절차과정
연구자의 보유기술
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