초박형 절연막 제조가 가능하며 비용을 대폭 절감시키는 박막 트랜지스터
출원번호
1020180037455
등록번호
1020976920000
권리구분
특허권
권리기간
2018-03-30 ~ 2038-03-30
문의처
041-540-5241
기관의 인기특허
기술 정보
발명명칭
박막 트랜지스터 및 그 제조 방법
기술분야
박막 트랜지스터 제조
거래방식
#특허판매#노하우#라이선스#연구협력
매도가격
가격 협의
문의처
041-540-5241
기술 소개
기술 요약
- 본 발명은 박막 트랜지스터의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 게이트 절연막을 종래와 같이 증착법 또는 용액 공정법을 사용하지 않고, 열처리를 통하여 패터닝된 산화물 반도체 층(활성층)과 게이트 전극의 계면을 산화시켜 게이트 절연막을 형성함으로써, 초박형 절연막이 가능함과 동시에 절연막 형성 공정의 단순화에 의해 제조 비용을 대폭 절감할 수 있는 박막 트랜지스터의 제조 방법에 관한 것이다.
매도/수 절차
절차과정