초고순도 질산을 생산하는 시약 정제 장치
출원번호
1020190104362
등록번호
1022745550000
권리구분
특허권
권리기간
2019-08-26 ~ 2039-08-26
문의처
041-540-5241
기관의 인기특허
기술 정보
발명명칭
초고순도 질산을 얻기 위한 시약 정제 장치
기술분야
반도체 공정 정제
거래방식
#특허판매#노하우#라이선스#연구협력
매도가격
가격 협의
문의처
041-540-5241
기술 소개
기술 요약
- 본 발명은 초고순도 질산을 얻기 위한 시약 정제 장치에 관한 것으로, 본 발명은 액체상태의 시약이 채워지는 시약 공급부; 상기 시약 공급부로부터 공급받는 시약을 수용하도록 내부공간을 갖는 하우징; 상기 하우징 내부의 시약을 증발시키는 히터부; 상기 하우징 내부에서 상기 히터부에 의해 증발된 시약을 액화시키는 냉각부; 및 상기 냉각되어 액화된 시약을 수집하는 시약 수집부;를 포함하고, 상기 하우징은 어느 한 면과 그와 마주하는 다른 한 면 사이를 잇고 상기 내부공간과는 분리되도록 외부공간이 연통되도록 형성된 통로를 더 포함할 수 있다. 본 발명은 간단한 구성을 채용하므로 매우 저렴하고 간편하게 초고순도 질산을 얻을 수 있다.
매도/수 절차
절차과정