안정적인 플라즈마 증착이 가능한 유사 다이아몬드 박막
출원번호
1020210045283
등록번호
권리구분
권리기간
~
문의처
055-320-3923
기관의 인기특허
기술 정보
발명명칭
중주파 플라즈마 화학기상증착 장치를 이용한 유사 다이아몬드 박막 증착방법
기술분야
다이아몬드 박막 코팅
거래방식
#특허판매#노하우#라이선스#연구협력
매도가격
가격 협의
문의처
055-320-3923
기술 소개
기술 요약
- 본 발명은 중주파 플라즈마 화학기상증착 장치를 이용한 유사 다이아몬드 박막 증착방법 및 이에 의해 제조된 유사 다이아몬드 박막에 대한 것으로, 중주파 플라즈마 화학기상증착 장치를 사용하여 유사 다이아몬드 박막을 증착하는 방법으로서, (ⅰ) 임의의 소재로 된 기판 위에 규소와 플라즈마 가스를 이용하여 제1 버퍼층을 증착하는 단계와, (ⅱ) 상기 제1 버퍼층 위에 탄소를 포함하는 가스를 전구체로 사용하여 유사 다이아몬드 박막을 증착하는 단계를 포함함으로써, 중주파 전원공급기 기반 플라즈마 화학기상증착 장치를 이용하여 유리, 스테인레스, 플라스틱 등 다양한 종류의 기판 표면에 내마모 특성의 유사 다이아몬드 박막을 증착할 수 있다.
매도/수 절차
절차과정