선폭의 수축과 패턴의 높이를 증가시킨 정교한 패턴 제조
출원번호
1020170077726
등록번호
101879164
권리구분
특허권
권리기간
2017-06-20 ~ 2037-06-20
문의처
070-8065-4613
기관의 인기특허
기술 정보
발명명칭
패턴의 제조방법
기술분야
미세패턴 제조법
거래방식
#특허판매#노하우#라이선스#연구협력
매도가격
가격 협의
문의처
070-8065-4613
기술 소개
기술 요약
- 본 발명은 제1철(凸)부와 제1요(凹)부를 포함하는 제1기판을 제공하는 단계, 상기 제1기판을 인장시켜, 제2철(凸)부와 제2요(凹)부를 포함하는 제2기판을 제공하는 단계, 상기 제2기판의 상기 제2철(凸)부 상에 제1선 폭 및 제2높이를 포함하는 제1패턴을 형성하는 단계 및 상기 제2기판에 가해진 인장력을 제거하여 상기 제1기판 으로 회복함으로써, 상기 제1기판의 상기 제1철(凸)부 상에 제2선폭 및 제2높이를 포함하는 제2패턴을 형성하는 단계를 포함하는 패턴의 제조방법에 관한 것으로, 기판을 인장한 상태에서 제1패턴을 형성하고, 상기 인장된 기 판을 회복시키면서 상기 제1패턴의 선폭을 수축시켜 수축된 선폭을 갖는 제2패턴을 상기 회복된 기판상에 형성함 으로써, 패턴의 선폭이 수축되면서, 패턴의 높이는 증가하므로, 종횡비(aspect ratio)가 우수한 미세패턴을 형성할 수 있다.
매도/수 절차
절차과정