이한보람
이한보람
소속
인천대학교 (신소재공학과)
AI요약
인천대학교 신소재공학과 이한보람 교수는 원자층 증착(ALD) 및 플라즈마 원자층 증착(PE-ALD) 기술을 기반으로 첨단 신소재 및 소자 분야의 혁신 연구를 선도하고 있습니다. 이 교수는 고온에서도 안정적인 소수성 표면 개질, 전기적 특성이 향상된 MIM/MOS 커패시터, 초소수성 코팅 재료 개발, 그리고 메모리 소자 및 이차원 나노소재의 결함 치유 방법 등에 대한 다수의 특허를 보유하고 있습니다. 이한보람 교수의 연구는 재료의 물리적, 전기적 특성 한계를 극복하고, 반도체, 필터, 촉매, 자가치유 고분자 등 다양한 산업 분야에 적용 가능한 핵심 기술을 제공하여 미래 산업 발전에 기여하고 있습니다. 이 교수의 심도 깊은 연구 성과를 통해 혁신적인 협력 기회를 모색하시기 바랍니다.
기본 정보
| 연구자 프로필 |  |
| 연구자 명 | 이한보람 |
| 직책 | 교수 |
| 이메일 | hbrlee@inu.ac.kr |
| 재직 상태 | 재직 중 |
| 부서 학과 | 신소재공학과 |
| 사무실 번호 | 0328358408 |
| 연구실 | 나노재료연구실 |
| 연구실 홈페이지 | http://nanomaterial.kr |
| 홈페이지 | https://www.dropbox.com/scl/fi/zi29qy5mgzny5lfk5jc3e/Curriculum-Vitae_Han-Bo-Ram-Lee_En.pdf?rlkey=3vyx08klnt4b5bnrn1yu2uvso&e=1&dl=0 |
| 소속 | 인천대학교 |
경력정보
| 회사명 | 인천대학교 |
| 재직기간 | 2022.03.01 ~ 재직 중 |
| 담당업무 | 교수 |
| 회사명 | 인천대학교 |
| 재직기간 | 2017.03.01 ~ 2022.02.28 |
| 담당업무 | 부교수 |
| 회사명 | 인천대학교 |
| 재직기간 | 2013.02.01 ~ 2017.02.28 |
| 담당업무 | 조교수 |
| 회사명 | Stanford University |
| 재직기간 | - |
| 담당업무 | 박사후 연구원 |
| 회사명 | 연세대학교 |
| 재직기간 | - |
| 담당업무 | 박사후 연구원 |
중요 키워드
#표면화학#반도체소자#반도체공정#MEMS/NEMS#고성능박막#박막증착#재료과학#희토류산화물#나노공정#원자층증착#나노소재#ALD#아이스포빅#표면개질#초소수성
연구 분야
| 연구 1 | 차세대 반도체 공정 및 소자 기술 |
| 내용 | 이한보람 교수는 원자층 증착(ALD) 및 플라즈마 원자층 증착(PE-ALD) 기술을 기반으로 차세대 반도체 소자 및 공정 기술 혁신을 주도하고 있습니다. 특히, 미세 공정의 한계를 극복하기 위한 선택적 증착(Area Selective Deposition, ASD) 기술을 개발하여 DRAM 및 3D NAND와 같은 첨단 메모리 소자의 수율 및 성능 향상에 기여하고 있습니다. MIM/MOS 커패시터의 전기적 특성을 개선하고, 금속 원자층 증착(Metal ALD)을 통해 저저항 배선 및 전극 물질 개발에 집중하며, 극초박막 전이금속 산화물의 결정화 제어 연구를 통해 소자의 신뢰성을 높이고 있습니다. 또한, MEMS/NEMS 분야에서도 ALD 기술을 활용하여 미세 구조물의 기능성을 극대화하고 있으며, 반도체 산업의 지속적인 발전을 위한 핵심 솔루션을 제공하고 있습니다. 이러한 연구는 반도체 소자의 고집적화, 고성능화 요구에 부응하며, 관련 산업의 경쟁력 강화에 직접적으로 기여하고 있습니다. |
| 연구 2 | 기능성 나노 박막 및 표면 개질 |
| 내용 | 이한보람 교수는 다양한 응용 분야의 성능 향상을 위한 기능성 나노 박막 증착 및 표면 개질 기술 연구에 매진하고 있습니다. 원자층 증착(ALD) 및 원자층 변조(Atomic Layer Modulation, ALM) 기술을 활용하여 나노 스케일에서 정밀하게 박막의 물리적, 화학적 특성을 제어합니다. 특히, 고온에서도 안정적인 소수성 표면 개질 기술과 PDMS 및 마이크로 파우더를 이용한 초소수성 코팅 기술 개발을 통해 발수, 방오, 결빙 방지(아이스포빅) 등 다양한 표면 기능성을 구현하고 있습니다. 희토류 산화물을 코어쉘 구조로 적용한 표면 개질 방법은 최소한의 재료로 최대의 효과를 얻는 혁신적인 접근을 보여줍니다. 이러한 연구는 반도체뿐만 아니라 필터, 촉매, 자가치유 고분자, 의료용 스마트 섬유 등 폭넓은 산업 분야에서 요구되는 특수 기능성 소재 개발에 필수적인 기술을 제공하며, 새로운 고부가가치 제품 창출에 기여할 잠재력을 가지고 있습니다. |
| 연구 3 | 나노소재 결함 치유 및 분석 |
| 내용 | 이한보람 교수는 나노소재 및 소자의 성능 저하를 야기하는 결함을 효율적으로 치유하고 분석하는 기술을 연구하고 있습니다. 특히 이차원 나노소재(예: 그래핀)의 결함을 원자층 증착법(ALD)을 통해 효과적으로 회복시켜 소재의 본래 뛰어난 물성을 되찾게 하는 데 집중하고 있습니다. 메모리 소자의 미스얼라인과 같은 미세 결함에 대한 선택적 증착 기반 결함 회복 방법을 개발하여 반도체 소자의 신뢰성을 높이고 있습니다. 더불어, 주사전자현미경(SEM) 및 투과전자현미경(TEM) 측정을 위한 3차원 전도성 코팅 기술 개발은 열에 취약하거나 복잡한 나노 구조 샘플의 변질 없이 선명한 이미지를 얻게 하여 나노 구조 분석의 정확도를 획기적으로 향상시킵니다. 이러한 연구는 첨단 나노소재 및 소자의 실용화 과정에서 발생하는 주요 기술적 난제를 해결하며, 재료의 잠재력을 최대한 발휘하고 고품질의 나노 제품 생산을 가능하게 하는 데 핵심적인 역할을 수행합니다. |
대외활동
| 활동 내용 | [학회/위원회 활동] - Chemistry of Materials, ACS Publications 부편집장 [강연 활동] - 2008년부터 2018년까지 다수의 국내외 학회 초청 강연 - 2006년부터 2015년까지 다수의 국내외 학회 일반 강연 [사업 참여] - 지역산업연계 대학 Open-Lab 육성 지원 사업 참여 |
학력
| 학력 사항 | 포항공과대학교 공학 박사 (2009) 포항공과대학교 공학 석사 (2007) 성균관대학교 공학 학사 (2005) |
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